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Kiel 2004 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 10: Postersitzung: Niedertemperaturplasmen Plasmatechnologie II, Staubige Plasmen II, Magnetischer Einschluss II

P 10.1: Poster

Dienstag, 9. März 2004, 17:45–19:30, Foyer

Laserabsorptionsspektroskopie in einer DC-Magnetronentladung — •Matthias Wolter, Hartmut Steffen und Rainer Hippler — Institut für Physik, Ernst-Moritz-Arndt-Universität Greifswald, Domstrasse 10a, D-17489 Greifswald

Das Plasma einer DC-Magnetronentladung wurde mittels Laserabsorptionsspektroskopie untersucht. Als Targetmaterial wurde Aluminium und als Inertgas Argon verwendet. Durch die Variation der Entladungsleistung und des Arbeitsdruckes wurden verschiedene Entladungsbedingungen generiert. Der von einer Laserdiode ausgesandte Laserstrahl durchquert das Plasma in der Ebene, in der sich später das Substrat befinden wird.

Die Wellenlänge des Lasers liegt bei 396,15 nm und detektiert den Übergang vom resonanten 2S1/2- in den metastabilen 2P3/2- Zustand des gesputterten Aluminiums.

Das Absorptionsprofil wurde durch einen Messrechner aufgenommen und anschließend verarbeitet. Dadurch gelang es, die Teilchendichte und die Temperatur der untersuchten metastabilen Aluminiumatome zu ermitteln.

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