Kiel 2004 – wissenschaftliches Programm
Bereiche | Tage | Auswahl | Suche | Downloads | Hilfe
P: Plasmaphysik
P 10: Postersitzung: Niedertemperaturplasmen Plasmatechnologie II, Staubige Plasmen II, Magnetischer Einschluss II
P 10.2: Poster
Dienstag, 9. März 2004, 17:45–19:30, Foyer
Langmuir-Sondenmessungen in einer DC-Magnetronentladung — •Vítĕzlav Stranák 1, Stefan Wrehde2, Hartmut Steffen2, Milan Tichý1 und Rainer Hippler2 — 1Faculty of Mathematics and Physics, Department of Electronics and Vacuum Physics, Charles-University Prague, V Holesovičkách 2, 18000 Prague 8, Czech Republic — 2Institut für Physik, Ernst-Moritz-Arndt-Universität Greifswald, Domstrasse 10a, D-17489 Greifswald
In einem DC-Magnetronplasma zur reaktiven Abscheidung von TiNx/TiOx-Schichten wurden mit einer Langmuir-Sonde Messungen der Plasmaparameter Elektronentemperatur, Elektronendichte und Plasmapotential durchgeführt. Ihre Abhängigkeit von der Entladungsleistung, dem Inertgasdruck, der Gaszusammensetzung und dem Betriebsmodus des Magnetrons (balanced oder unbalanced) wurde untersucht. Zur räumlichen Auflösung wurde die Position der Sonde variiert.
Die mittlere Energie der Elektronen wurde aus dem Integral der zweiten Ableitung der Sondenkennline und die Elektronendichte mit Hilfe des OML-Modells im Elektronenbeschleunigungsregime (sog. Ie2 über VP - Plot) berechnet, das Plasmapotential erhält man als Nullpunkt der zweiten Ableitung.