Kiel 2004 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 15: Diagnostische Methoden IV

P 15.5: Fachvortrag

Mittwoch, 10. März 2004, 16:45–17:05, H\"orsaal D

SEERS für HD-Plasmen: Ein erweitertes analytisches Modell — •Thomas Mussenbrock und Ralf Peter Brinkmann — Lehrstuhl für Theoretische Elektrotechnik, Ruhr-Universität Bochum, Universitätsstr. 150, D-44780 Bochum, Germany

Die ständig steigenden Anforderungen an Plasmaprozesse zur Fabrikation von mikroelektronischen Schaltungen führen immer mehr zum Wunsch nach Regelung der Prozesse. Die adäquate Basis bilden Plasmadiagnostiken, die kontaminationsfrei, passiv und in-situ die entscheidenden Plasmaparameter liefert.

Ein Kandidat hierfür ist SEERS (Self-Excited Electron Resonance Spectroscopy). SEERS basiert auf der bei kapazitiver Leistungseinkopplung angeregten Plasma-Serienresonanz. Aus der Analyse des im Plasma fließenden HF-Stromes bezüglich der angeregten Harmonischen erhält man Informationen über Frequenz und Dämpfung der angeregten kollektiven Resonanz. Damit kann man auf wichtige Plasmaparameter, wie mittlere Elektronendichte, mittlere Elektronestoßrate oder eingekoppelte Leistung, über ein adäquates Modell rückschließen.

In diesem Beitrag wird ein analytisches, nichtlineares und räumlich aufgelöstes Plasmamodell zur Berechnung des HF-Stromes vorgeschlagen, welches neben der Plasmadynamik die bei HD-Plasmen immer stärker werdenden Induktionseffekte berücksichtigt.

[1] T. Mussenbrock und R.P. Brinkmann, ICPIG Proc. 1 (2003), 165

[2] R.P. Brinkmann und T. Mussenbrock, IGPIG Proc. 1 (2003), 137