Kiel 2004 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 3: Postersitzung: Niedertemperaturplasmen Plasmatechnologie I, Diagnostische Methoden I

P 3.3: Poster

Montag, 8. März 2004, 17:45–19:30, Foyer

Elektronendichtemessung mit einer Plasma-Absorption-Probe — •Christian Scharwitz, Suk-Ho Hong, Marc Böke, Johannes Berndt und Jörg Winter — Ruhr-Universität Bochum

Die Elektronendichte ist ein wichtiger Parameter in Niedertemperaturplasmen. Aufgrund der Abscheidung von Schichten ist die Messung dieses Parameters in reaktiven Plasmen mit herkömmlichen Sondenmethoden nicht ohne weiteres möglich. Von Nakamura, Sugai et. al.(Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 38 (1999) pp. 5262-5266) wurde eine Möglichkeit zur Elektronendichtemessung in diesem Fall reaktiver Plasmen vorgeschlagen, die Plasma-Absorption-Probe (PAP). Das Prinzip der PAP beruht auf einer lokalen Anregung von Oberflächenwellen. Ausgehend von der Dispersionsrelation läßt sich über die Absorptionscharakterisik der Oberflächenwellen die Elektronendichte bestimmen.

Es wurde eine PAP gebaut und an einer ICP- und einer CCP-Entladung getestet. Für unterschiedliche Gasdrücke und Plasmaleistungen wurden Absorptionspeaks an einer Argonentladung aufgenommen. Zum Vergleich der Daten und um die Eigenschaften der PAP zu beurteilen wurden Langmuirsondenmessungen durchgeführt.