Mainz 2004 – wissenschaftliches Programm

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T: Teilchenphysik

T 203: Halbleiterdetektoren III

T 203.7: Vortrag

Dienstag, 30. März 2004, 15:30–15:45, HS I

Pixeldetektoren in MCM–D Technologie — •Christian Grah, Karl-Heinz Becks, Tobias Flick, Peter Gerlach und Peter Mättig — Bergische Universität-Gesamthochschule Wuppertal

Pixeldetektoren sind hochgranulare Halbleiterdetektoren, die in der Hochenergiephysik vielfach als Vertexdetektoren eingesetzt werden. Hybride Pixeldetektoren verwenden dabei in getrennten Prozeßen hergestellte Sensoren und integrierte Elektronikschaltkreise (IC’s).

Im Rahmen des ATLAS Pixel Projektes wurde neben herkömmlicher Technologie zur Herstellung der intramodularen Verbindungen auch die Multi Chip Module Deposited Technologie (MCM–D) erfolgreich erprobt.

Bei MCM–D erfolgt der Aufbau des notwendigen Stromversorgungssystems und eines hochperformanten Signalbussystems direkt auf dem Sensorwafer durch abwechselndes Aufschleudern von isolierenden Schichten (Benzocyclobuthen) und galvanischem Wachstum leitender Schichten (Cu). Notwendige Durchkontaktierungen im Bereich der Pixelmatrix ermöglichen zudem eine Optimierung der Sensorgeometrie, wodurch equal–sized und equal–sized–bricked Sensoren aufgebaut werden können.

Innerhalb des Vortrags wird auf den Herstellungsprozess eingegangen und es werden Ergebnisse der Messungen an neuesten Prototypen präsentiert. Weiterhin werden Ergebnisse zur Strahlenhärte der Prototypen, sowie zur Analyse von Teststrahldaten an geometrieoptimierten Pixeldetektoren vorgestellt.