Berlin 2005 – wissenschaftliches Programm

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AKFH: Fachhochschulen

AKFH 1: Postersitzung: Forschung an Fachhochschulen

AKFH 1.5: Poster

Freitag, 4. März 2005, 14:00–15:30, Poster TU C

Charakterisierung und Simulation einer z-Pinch EUV-Strahlungsquelle — •Stephan Wieneke, Jens Kromer und Wolfgang Viöl — Hochschule für angewandte Wissenschaft und Kunst, Fachhochschule Hildesheim/Holzminden/Göttingen, Fakultät Naturwissenschaften und Technik, Von-Ossietzky-Str. 99, 37085 Göttingen

Scheinbar unaufhaltsam schreitet die Miniaturisierung fort. Doch bald sind die Grenzen der optischen Belichtungstechnik endgültig ausgereizt. Als aussichtsreicher Kandidat für neuartige Belichtungsquellen gilt extreme ultraviolett (EUV) Strahlung mit Wellenlängen von 11 bis 14 nm. Die Hauptprobleme bei der Erzeugung solcher Lichtquellen sind die Stabilität des Strahls und die Lebensdauer des gesamten Systems. Dieses Forschungsprojekt beschäftigt sich mit der Entwicklung einer EUV-Strahlungsquelle, welche auf dem Prinzip eines Gasentladungsplasmas basiert. Vorteile dieser Plasmen liegen in der direkteren und damit effektiveren Umwandlung der elektrischen Energie in Licht, einen einfachen, kompakteren und damit auch preisgünstigeren Aufbau. Im Zuge dieser Entwicklungen wird eine Quelle aufgebaut, die zur Parameteroptimierung mit den Simulationsprogrammen PSpice und Femlab untersucht wird. Ziel dieser Untersuchungen ist es, die Strom und Spannungsverläufe, aber auch das thermische Verhalten von neuen Quellengeometrien vorhersagen zu können und so optimal angepasste Elektroden für den jeweiligen Einsatzzweck der Quelle zu entwerfen.