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DS: Dünne Schichten

DS 16: Dünnschichtanalytik III

DS 16.8: Talk

Monday, March 7, 2005, 12:30–12:45, TU HS110

Textur von ITO-Schichten — •Dieter Mergel¹, Zhaohui Qiao¹ und Karola Thiele² — ¹Universität Duisburg-Essen, Fb Physik, AG Dünnschicht-Technologie, 45117 Essen — ²Universität Göttingen, Institut für Materialphysik

Es wurde die Textur der Kristallorientierung von vier ITO-Schichten untersucht, die mit rf- oder dc-Plasmaanregung und in Mitte- oder Randlage relativ zum Target abgeschieden wurden. Theta-2Theta Röntgenbeugungs-Diffraktogramme und Polfiguren wurden so normiert, dass sie miteinander verglichen und gemeinsam interpretiert werden können.

Die vier Proben zeigen charakteristische Unterschiede, die versuchsweise auf unterschiedlichen Sauerstoffeinbau infolge unterschiedlicher Bombardierung mit energetischen Teilchen zurückgeführt werden, gemäß dem Modell, welches in [1-3] entwickelt wurde.

[1] J.Appl.Phys. 88 (2000) 2437-2442.

[2] Thin Solid Films 392 (2001) 91.

[3] J.Appl.Phys. 95 (2004) 5608-5615.