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DS: Dünne Schichten

DS 7: Ionenstrahlverfahren I

DS 7.3: Talk

Saturday, March 5, 2005, 14:45–15:00, TU HS107

Sauerstoffdiffusion und Phasenbildung in dünnen Eisenoxidschichten unter Bestrahlung mit schnellen schweren Ionen — •Tobias Roller, Tilman Joachim Renz, Hartmut Paulus und Wolfgang Bolse — Institut für Strahlenphysik, Universität Stuttgart

Die Bestrahlung von Eisenoxid-Schichtsystemen mit hochenergetischen schweren Ionen (MeV/amu) führt zu einer Verlagerung von Sauerstoff und der Bildung neuer Oxidphasen in unterschiedlichen Tiefen der Probe. So wurde z.B. an unterstöchiometrischen FeO_x-Schichten (x<1) bei deren Bestrahlung mit 350 MeV Au²⁶⁺-Ionen beobachtet, dass der oberflächennahe Bereich oxidiert und die darunter liegende Schicht teilweise reduziert wird. Mit zunehmender Bestrahlungsfluenz wandert die Grenze zwischen diesen Bereichen in größere Tiefen.

Zur Untersuchung der Phänomene wurden Rutherford Backscattering Spectroscopy (RBS), Elastic Recoil Detection Analysis (ERDA) und Mößbauerspektroskopie eingesetzt. Mit Hilfe von isotopisch markierten Schichten (¹⁸O, ¹⁶O) wurde die Herkunft des Sauerstoffs genauer untersucht.