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Berlin 2005 – scientific programme

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HL: Halbleiterphysik

HL 58: Poster IIb

HL 58.61: Poster

Tuesday, March 8, 2005, 16:30–19:00, Poster TU F

Ionenimplantation von N+ und Al+ in ZnO Nanodrähte — •Sven Müller, Daniel Stichtenoth, Daniel Schwen, Christine Borchers und Carsten Ronning — II. Physikalisches Institut, Universität Göttingen, Friedrich-Hund-Platz 1, 37077 Göttingen, Germany

ZnO Nanodrähte, die mit Hilfe eines einfachen CVD-Prozesses hergestellt wurden, wurden mittels Ionenimplantation dotiert. Dabei wurden die Elemente N+ (als Akzeptor) oder Al+ (als Donator) mit einer Energie von 25 keV eingesetzt. Die strukturellen Veränderungen innerhalb der Nanodrähte nach der Ionenimplantation wurden mit hoch-auflösender TEM untersucht. Sowohl Punktdefekte als auch ausgedehnte Defekte wurden lokalisiert, die nach Anlassen auf 800C nahezu komplett ausgeheilt werden konnten. Die optische Aktivierung der implantierten Atome wird auf diesem Poster anhand von parallel durchgeführten PL/CL-Messungen diskutiert.

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