Berlin 2005 – wissenschaftliches Programm
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K: Kurzzeitphysik
K 6: Poster
K 6.11: Poster
Montag, 7. März 2005, 16:45–18:00, Poster HU
Elektronenkanonen für elektronenstrahlbetriebene VUV-Lichtquellen und Laser — •Ruprecht Steinhübl1,2, Klaus Besenthal1, Andreas Görtler3, Günter Kornfeld1, Reiner Krücken2, Andrei Morozov2, Andreas Ulrich2 und Jochen Wieser3 — 1THALES Electron Devices GmbH, 89077 Ulm — 2TU München Fak. für Physik E12, 85748 Garching — 3TuiLaser AG, 82110 Germering
Für den Betrieb kompakter, brillanter VUV-Lichtquellen wurden zwei Elektronenkanonen entwickelt. Eine erzeugt einen zylindrischen Elektronenstrahl von 1µA bis 20µA mit einem Durchmesser von 0,7mm, der durch eine SiNx-Folie in ein Gasvolumen eintritt. Die zweite Elektronenkanone erzeugt einen gepulsten Strahlstrom von 5A mit einem flachen 0,7mm x 40mm Strahlprofil an der SiNx-Folie. Diese wird vakuumdicht mit einer neu entwickelten Löttechnologie mit den Elektronenkanonen metallisch verbunden. Dies gewährleistet einerseits das notwendige Ultrahochvakuum für die Elektronenemission, andererseits eine hohe Reinheit des Targetgases. Mit der 5A-Elektronenkanone soll ein VUV-Excimerlaser gepumt werden. In einem ersten Testexperiment wurde ein elektronenstrahlgepumter He-Ne-Ar-Laser bei einer Wellenlänge von 585nm realisiert.
Gefördert durch BSF und MLL