Berlin 2005 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 23: Poster: Magnetischer Einschluß 3, Staubige Plasmen 2, Astrophysikalische Plasmen 1

P 23.22: Poster

Dienstag, 8. März 2005, 16:30–18:30, Poster HU

Über eine HF-Entladung mit adaptiver Elektrode zur Pulverbehandlung — •Gabriele Thieme¹, Maria Tatanova¹, Diana Bojic¹, Ralf Basner¹, Rainer Hippler² und Holger Kersten¹ — ¹INP Greifswald, F.-L.-Jahn-Str. 19, D-17489 Greifswald — ²Institut für Physik, E.-M.-Arndt-Universität, Domstr. 10a, D-17489 Greifswald

Es wurde eine asymmetrische kapazitiv gekoppelte HF-Entladung (13,56 MHz) zur Pulverbehandlung untersucht, die als Gegenelektrode zur HF-gespeisten eine sogenannte adaptive Elektrode enthält. Die adaptive Elektrode besteht aus einer Anordnung von 106 Segmenten, die jeweils mit einer individuellen Vorspannung versehen werden können, um eine gezielte Manipulation der Plasmarandschicht zu bewirken. Die HF-Entladung und der Einfluß vorgespannter Segmente auf die Entladung wurden mittels Langmuirsonden und energiedispersiver Massenspektrometrie untersucht. Die Plasmaparameter wie Elektronendichte, Plasmapotential und Ionenenergie wurden bestimmt und die gemessenen Elektronenenergieverteilungsfunktionen mit Modellrechnungen verglichen. Insbesondere mit einer HF-Spannung belegte Segmente zeigen einen deutlichen Einfluß auf die Entladung. Über ihnen treten charakteristische Leuchterscheinungen und Veränderungen der Plasmaparameter auf.