Berlin 2005 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 7: Poster: Niedertemperaturplasmen / Plasmatechnologie 3, Diagnostik 3

P 7.1: Poster

Freitag, 4. März 2005, 16:30–18:30, Poster HU

Aufbau und Charaterisierung eines homogenen ECR Plasmas — •S. Dietrich¹ und U. Fantz^1,2 — ¹Lehrstuhl für Experimentelle Plasmaphysik, Institut für Physik, Universität Augsburg, 86135 Augsburg — ²Max-Planck-Institut für Plasmaphysik, EURATOM Assoziation, 85748 Garching

Die Elektron–Zyklotron–Resonanz–Heizung ist eine häufig verwendete Methode, um ein Niederdruckplasma zu erzeugen. Sind die dafür verwendeten Magnetfelder sehr inhomogen, gilt die ECR–Bedingung nur in einem kleinen Bereich. Um ein möglichst homogenes und von allen Seiten auf Höhe der Resonanzzone leicht zugängliches ECR–Plasma zu erzeugen, wird eine Helmholtz–ähnliche Anordnung zweier relativ kleiner, leichter Spulen in diesem kompakten Aufbau verwendet. Die bis zu einer maximalen Leistung von 1 kW zur Verfügung stehende Mikrowelle (2.45 GHz) wird homogen über einen Durchmesser von 14 cm in das Plasma eingekoppelt. Durch Variation der Spulenströme ist eine Mikrowelleneinkopplung sowohl von der Hochfeldseite als auch von der Niederfeldseite möglich. Dieser Aufbau soll benutzt werden, um Plasmen in einem möglichst großen Druck– und Leistungsbereich zu erzeugen. Die dabei erreichten Plasmaparameter werden mit Hilfe optischer Emissionsspektroskopie und Sondenmethoden bestimmt.