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P: Plasmaphysik

P 13: Niedertemperaturplasmen / Plasmatechnologie 4

P 13.4: Talk

Tuesday, March 28, 2006, 15:45–16:00, 1002

Aufbau und Optimierung eines 10 kW, 13,56 MHz Plasmagenerators — •Julian Schunk, Marcus Iberler, Joachim Jacoby, Christian Teske und Jörg Wiechula — Institut für Angewandte Physik, Johann Wolfgang Goethe-Universit*t, Frankfurt am Main

Schwerpunkt dieser Arbeit ist der Aufbau, die Erzeugung und Untersuchung eines hochfrequenz-angeregten Plasmas. Zur Plasmaerzeugung steht ein 10 kW Hochfrequenzsender mit einer Festfrequenz von 13,56 MHZ zu Verfügung. Eine Impedanzanpassung des gesamten Schwingkreises wird mittels einer zusätzlichen Matchbox durchgeführt. Ziel dieser Arbeit ist bei vorgegebener Frequenz und einer festen Leistung eine effiziente Energieankopplung an das Plasma zu erzielen. Untersucht werden nun verschiedene induktive und kapazitive Methoden der Leistungseinkopplung in das Plasma. Mit Hilfe von elektrischen- und spektroskopischen Messungen werden nun die zu den jeweiligen Antennenkonfigurationen gehörigen Plasmaparameter ermittelt.