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P: Plasmaphysik

P 15: Diagnostik 2; Niedertemperaturplasmen / Plasmatechnologie 5; Plasma-Wand Wechselwirkung 1

P 15.11: Poster

Dienstag, 28. März 2006, 17:00–19:00, Flure

Ein analytisches Modell der selbsterregten Elektronenresonanzen in kapazitiven RF- Entladungen — •Uwe Czarnetzki — Institute for Plasma and Atomic Physics, CPST, Ruhr University Bochum, Germany

Selbsterregte Resonanzen werden in kapazitiven RF-Entladungen als hochfrequente Schwingungen, die dem üblichen RF-Strom überlagert sind, beobachtet. Der hochfrequente Anteil des Stroms entsteht durch eine Serienresonanz, die durch die kapazitiven Randschicht und dem induktiven bzw. ohmschen Bulk gebildet wird. Das nichtlineare Verhalten der Randschicht führt zu einer komplexen Dynamik. Kommerziell wird die Messung dieser Resonanzen als passive Diagnostik in Ätzreaktoren eingesetzt. Die Auswertung geschieht dort durch ein numerisches Modell. Hier wird ein einfaches analytisches Modell vorgestellt. Zur analytischen Lösung der nichtlinearen Gleichungen wird eine Reihe von Näherungen gemacht, die allerdings die wesentlichen Aspekte der bestimmenden Physik erhalten. Es ergeben sich damit explizite Näherungsformeln für den Stromverlauf und die Resonanzfrequenzen. Insbesondere wird die Abhängigkeit von den Plasma- und Entladungsparametern deutlich. Der Vergleich der analytischen mit den numerischen Lösungen zeigt gute Übereinstimmung.