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P: Plasmaphysik

P 15: Diagnostik 2; Niedertemperaturplasmen / Plasmatechnologie 5; Plasma-Wand Wechselwirkung 1

P 15.16: Poster

Dienstag, 28. März 2006, 17:00–19:00, Flure

Globales Modell eines induktiv gekoppelten Sauerstoff-Plasmas — •George-Felix Leu, Albrecht Brockhaus und Jürgen Engemann — Forschungszentrum für Mikrostrukturtechnik - fmt, Bergische Universität Wuppertal, Rainer Gruenterstr. 21, 42119, Wuppertal

Trotz ihrer technologischen Bedeutung sind Sauerstoff-Plasmen noch nicht befriedigend verstanden. Die Gründe liegen einerseits in dem Mangel an Kenntnissen über die Wechselwirkungsquerschnitte und andererseits in den inhärenten Problemen eines vollkommenen selbstkonsistenten Modells der Plasma-Feld-Wechselwirkung. Um ein solches reaktives Plasma zu analysieren, haben wir ein vereinfachtes, nulldimensionales Modell verwendet. Das Ziel besteht darin, die wesentlichen Prozessschritte zu identifizieren und den Einfluss der äußeren Parameter, wie Leistung, Druck, etc., auf die inneren Plasmaparameter, wie Teilchendichte, Flüsse, etc. zu verstehen. Der Druck der Entladung liegt im Bereich 1 - 100 Pa und die Leistung im Bereich 100 - 1000 W. Eine komplexe Chemie mit vielen unterschiedlichen Teilchensorten (O2, O, O3, metastabile Spezies und positive und negative Ionen) wurde in dem Modell berücksichtigt. Das Modell beruht auf Energie- und Teilchen-Erhaltungsgleichungen. Die Stabilität der stationären Lösung gegenüber den Anfangsbedingungen wurde untersucht. Als Ergebnis werden die Dichten der Plasma-Komponenten als eine Funktion von Druck und Leistung dargestellt und die Hauptreaktionskanäle diskutiert. Es zeigt sich, dass die Koeffizienten der Plasma-Wand Reaktionen eine große Rolle für die Prozessdynamik spielen.