Augsburg 2006 – wissenschaftliches Programm
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P: Plasmaphysik
P 15: Diagnostik 2; Niedertemperaturplasmen / Plasmatechnologie 5; Plasma-Wand Wechselwirkung 1
P 15.5: Poster
Dienstag, 28. März 2006, 17:00–19:00, Flure
Messung der Rotationstemperatur von CF2 in fluorkohlenstoffhaltigen RF-Plasmen — •Sergey Stepanov1, Onno Gabriel2, Milena Pfafferott1 und Jürgen Meichsner1 — 1Institut für Physik, Universität Greifswald, Domstraße 10a, D 17489, Greifswald, Deutschland — 2ETP group, Technische Universiteit Eindhoven, NL
Die Radikale CF, CF2 und CF3 als Dissoziationsprodukte von CF4 spielen eine wichtige Rolle bei der Bildung größerer Moleküle sowie bei der Wechselwirkung mit Oberflächen. Zur Bestimmung absoluter Radikaldichten und Untersuchung ihrer Kinetik wurde die hochauflösende IR-Absorptionsspektroskopie mit durchstimmbaren Diodenlasern (IR-TDLAS) eingesetzt. Unter Voraussetzung eines thermodynamischen Gleichgewichtes und Kenntnis der Rotationstemperatur kann die sichtlinienintegrierte absolute Teilchendichte aus der Linienstärke eines Rotations-Vibrationsübergangs berechnet werden. Es wurden zwei verschiedene Methoden (Boltzmann-Plot, Temperaturabhängigkeit der Linienstärke) zur Bestimmung der Rotationstemperatur herangezogen. Das zeitliche Verhalten der Rotationstemperatur und der CF2-Dichte in gepulsten fluorkohlenstoffhaltigen RF-Plasmen (13,56 MHz, CCP) wurde studiert. Dabei wurde eine Erhöhung der Rotationstemperatur während des Plasmapulses bis etwa 700K mit Zeitkonstanten im ms-Bereich gemessen. Die Untersuchungen werden durch die DFG im SFB-Transregio 24 "Grundlagen komplexer Plasmen" gefördert.