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P: Plasmaphysik

P 2: Niedertemperaturplasmen / Plasmatechnologie 1

P 2.6: Talk

Monday, March 27, 2006, 16:15–16:30, 1002

Untersuchung eines Mikrowellenkonzentrators als linear ausgedehnte Plasmaquelle — •U. Schweitzer, A. Schulz, M. Walker und U. Stroth — Universität Stuttgart, Institut für Plasmaforschung, Pfaffenwaldring 31, 70569 Stuttgart

Die Eigenschaften eines Mikrowellenkonzentrators in der Form eines elliptischen Zylinders zur Erzeugung eines linear ausgedehnten, freistehenden Plasmas wurden untersucht. Die Mikrowelle mit einer Frequenz von 2,45 GHz wurde auf oder in der Nähe der einen Fokuslinie in den Konzentrator eingekoppelt und die resultierende Verteilung des elektrischen Felds im Bereich der anderen Fokuslinie in Abhängigkeit von Parametern wie Form und Position der Antenne und Form des Konzentrators gemessen. Numerische Simulationen der Anordnung zeigen gute Übereinstimmung mit den Messergebnissen und wurden zur Optimierung der Geometrie verwendet.

In einem evakuierten Glasrohr um die zweite Fokuslinie kann in Argon oder in Luft in einem weiten Druckbereich (ca. 10 bis 10000 Pa) ein Plasma gezündet und unterhalten werden. Elektronendichten und -temperaturen wurden mit einer Langmuir-Sonde gemessen. Diese Messungen wurden in cw-Plasmen ortsaufgelöst und in gepulsten Plasmen zeitaufgelöst durchgeführt.