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P: Plasmaphysik

P 33: Diagnostik 4

P 33.1: Talk

Thursday, March 30, 2006, 11:15–11:30, 1002

Messung der Elektronenenergieverteilungsfunktion in einem homogenen ECR-Plasma — •S. Dietrich1,2 und U. Fantz1,21Lehrstuhl für Experimentelle Plasmaphysik, Institut für Physik, Universität Augsburg, 86135 Augsburg — 2Max-Planck-Institut für Plasmaphysik, EURATOM Assoziation, 85748 Garching

Die Elektronenenergieverteilungsfunktion (EEVF) stellt eine wichtige Kenngröße eines Plasmas dar. Diese soll mit verschiedenen Methoden für ein homogenes ECR-Plasma (f=2.45 GHz, Pmax=1 kW) experimentell bestimmt werden. Eine Standardmethode ist es, die EEVF aus der zweiten Ableitung der Strom-Spannungs-Kennlinie einer Langmuirsonde zu bestimmen. Allerdings lässt sich mit dieser Methode nur der niederenergetische Teil (gasartabhängig bis E ≈ 25 eV) der EEVF bestimmen. Um einen höheren Dynamikbereich zu erhalten, wird mit Hilfe der Boyd-Twiddy-Methode [1] versucht die Störanfälligkeit zu verringern. Dies geschieht hierbei durch die direkte Messung der Verteilungsfunktion mit Hilfe eines frequenzmodulierten Signals. Als dritte Methode wird mittels einer optischen Gegenfeldsonde der höherenergetische Teil der EEVF bestimmt. Das Prinzip dieser Sonde beruht auf der spektroskopischen Messung einer Emissionslinie in einem Gegenfeldanalysator, weshalb die EEVF mit dieser Methode erst ab der Anregungsenergie der entsprechenden Linie bestimmt werden kann. Zusammen mit Langmuirsondenmessungen ist es so möglich, einen größeren Bereich der EEVF zu bestimmen. Die verschiedenen Diagnostikmethoden werden vorgestellt und erste Ergebnisse gezeigt.

[1] R.L.F. Boyd und N.D. Twiddy Proc.Roy.Soc. A 53 (1959) 250

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