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P: Plasmaphysik

P 4: Diagnostik 1; Niedertemperaturplasmen / Plasmatechnologie 2; Magnetischer Einschluß 2

P 4.11: Poster

Montag, 27. März 2006, 17:00–19:00, Flure

Zur Modellierung eines Hochfrequenz-angeregten Mikro-Atmosphärendruck-Plasmas — •Thomas Mussenbrock¹, Timo Gans² und Volker Schulz-von der Gathen³ — ¹Lehrstuhl für Theoretische Elektrotechnik, Ruhr-Universität Bochum, D-44780 Bochum — ²Institut für Experimentalphysik V, Ruhr-Universität Bochum, D-44780 Bochum — ³Fachbereich Physik, Universität Duisburg-Essen, D-45117 Essen

Der Mikro-Atmosphärendruck-Plasmajet (µ-APPJ) ist eine bei Atmosphärendruck homogen brennende Nichtgleichgewichts-RF-Entladung mit großem Anwendungspotential - dies kann im Bereich der Oberflächenfunktionalisierung, wie zum Beispiel in der Halbleitertechnologie, in der Restaurierung und in der Biomedizin genutzt werden. Der µ-APPJ wird mit einem Edelgas (Helium oder Argon) als Trägergas und einem im Prozentbereich beigemischten Molekülgas betrieben. Die Wirkung der Entladung beruht wesentlich auf dem dissoziierten und aktivierten Molekül, das je nach geplanter Anwendung ausgewählt werden kann. Da es sich beim µ-APPJ um einen neuartigen Entladungstyp handelt, fehlen bislang sowohl detaillierte experimentelle als auch detaillierte theoretische Untersuchungen der ablaufenden Prozesse und der zu Grunde liegenden Mechanismen. Dieser Beitrag soll einen ersten Einblick in die Modellierung des µ-APPJ geben, um somit die elektrische Charakterisierung zu unterstützen.