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PV: Plenarvorträge

PV I

PV I: Plenary Talk

Monday, March 27, 2006, 14:00–14:45, 1002

Reaktive Plasmen - Wege zu einem besseren Verständnis — •Jürgen Meichsner — Institut für Physik, Universität Greifswald, Domstr. 10a, D-17489 Greifswald

Molekulare, reaktive Niedertemperaturplasmen zeichnen sich durch eine Vielzahl von Plasmakomponenten und komplexe plasmachemische Reaktionen unter aktiver Mitwirkung der begrenzenden Oberflächen (Elektroden, Wände, eingebrachte Substrate) aus. Zu einem besseren Verständnis und der Kontrolle dieser Plasmen in der Wechselwirkung mit Oberflächen gelangt man von experimenteller Seite durch Aufklärung wesentlicher Elementarprozesse und Reaktionsmechanismen. Die Fortschritte in der raum-zeitlich aufgelösten Analyse atomarer und molekularer Plasmaspezies erlauben es, das Plasma und den Grenzschichtbereich Plasma-Oberfläche detailliert zu untersuchen. Gleichzeitig lassen sich Oberflächenprozesse erfassen. Am Beispiel der Analyse ausgewählter Plasmaspezies in kapazitiv gekoppelten Hochfrequenzplasmen (13,56 MHz) in den elektronegativen Gasen Sauerstoff bzw. Tetrafluormethan werden Erzeugungsmechanismen bzw. Folgereaktionen dieser Spezies dargestellt. Einbezogen werden u.a. die Anregung von atomarem Sauerstoff bzw. Kohlenstoff unmittelbar vor der Hochfrequenzelektrode, die Generation schneller negativer Ionen sowie plasmachemische Reaktionen zwischen Fluorkohlenstoffradikalen zur Bildung von Fluorkohlenstoffen mit höherem Molekulargewicht und die Deposition von dünnen Fluorkohlenstoffschichten.