Düsseldorf 2007 – wissenschaftliches Programm

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 17: Niedertemperaturplasmen

P 17.2: Vortrag

Donnerstag, 22. März 2007, 11:45–12:00, 6B

Diagnostik eines reaktiven Strahlplasmas für die Oberflächenbehandlung bei Atmosphärendruck — •Dirk Pasedag¹, Hans-Erich Wagner¹, Ruben Wiese², Alfred Baalmann³, Guido Ellinghorst³ und Uwe Lommatzsch³ — ¹Institut für Physik (IfP), Felix-Hausdorff Str. 6, D-17487 Greifswald — ²Institut für Nidertemperatur-Plasmaphysik (INP), Felix-Hausdorff Str. 2, D-17489 Greifswald — ³Fraunhofer-Institut für Fertigungstechnik und Angewandte Materialforschung (IFAM), Wiener Str. 12, D-28359 Bremen

Gegenstand der Untersuchungen ist ein bei Atmosphärendruck in N2/O2-Gasgemischen und einer periodischen Wechselspannung von etwa 13 kHz betriebener Plasmastrahl. Er wird u.a. für Aktivierungsprozesse von Polymeroberflächen eingesetzt.

Es werden wichtige reaktive Spezies (O-Atome, OH-Radikale) im relaxierenden Plasma spektroskopisch untersucht. Unter Zuhilfenahme eines kinetischen Modells war die Konzentrationsbestimmung der O-Atome möglich. Sie liegt in der Größenordnung einiger Vol.-%. Die thermischen Eigenschaften (Temperaturverteilung, Energieeinstrom) wurden mittels Thermoelementen und Thermosonden erfasst. Diese werden durch ausgewählte Modellrechnungen zur Strömungsmechanik ergänzt. Der Einsatz des Strahls zur Oberflächenaktivierung von Kunststoff-Modellsubstraten wird vorgestellt.