Düsseldorf 2007 – wissenschaftliches Programm

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 22: Poster

P 22.23: Poster

Donnerstag, 22. März 2007, 16:30–18:30, Poster A

Nichtlineares globales Modell einer kapazitiven Hochfrequenzentladung in Argon — •Philipp Mertmann¹, Peter Awakowicz¹, Thomas Mussenbrock² und Ralf Peter Brinkmann² — ¹Ruhr-Universität Bochum, Lehrstuhl für Allgemeine Elektrotechnik und Plasmatechnik, D-44780 Bochum — ²Ruhr-Universität Bochum, Lehrstuhl für Theoretische Elektrotechnik, D-44780 Bochum

Globale Plasmamodelle werden häufig eingesetzt, um die komplexe Chemie der vielen Teilchensorten in Prozessplasmen zu beschreiben und untersuchen zu können. Einen Schwachpunkt bisher vorgeschlagener globaler Modelle stellt die Plasmarandschicht und ihre Kopplung an das Bulkmodell dar. Diesem Problem nimmt sich der vorliegende Beitrag an. Das vorgeschlagene Modell einer kapazitiven Hochfrequenzentladung (hier exemplarisch in Argon) basiert auf Volumen-gemittelten Energie- und Teilchenbilanzgleichungen gekoppelt an ein selbstkonsistentes nichtlinearen Modell einer lokal eindimensionalen Plasmarandschicht. Als Ergebnis numerischer Simulationen werden die Volumen-gemittelten Dichten der einzelnen Spezies und sowie die Volumen-gemittelte Elektronentemperatur als Funktion unterschiedlicher äußerer Parameter, wie Neutralgasdruck, Betriebsspannung und -frequenz diskutiert.