Düsseldorf 2007 – wissenschaftliches Programm

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 22: Poster

P 22.33: Poster

Donnerstag, 22. März 2007, 16:30–18:30, Poster A

Modellierung der reduzierten Elektronenkinetik in kapazitiv gekoppelten Plasmen — •Mustafa Bayrak und Ralf Peter Brinkmann — Lehrstuhl für Theoretische Elektrotechnik, Ruhr Universität Bochum, Universitässtr. 150, 44801 Bochum

Die Elektronen-Energieverteilungsfunktion (EEDF) spielt eine wesentliche Rolle bei vielen Plasmasimulationen. Mit der Kenntnis der EEDF können anhand der Momente wichtige Größen wie die Dichte, Temperatur oder mittlere Geschwindigkeit der Elektronen berechnet werden. Geht man von der allgemeinen Beschreibung der kinetischen Theorie aus, so stellt diese eine DGL für die 7-Dimensionale (3-Dimensionen im Ortsraum, 3-Dimensionen im Geschwindigkeitsraum und 1-Dimension in Zeit) Verteilungsfunktion dar. Diese DGL numerisch zu lösen wäre mit den heutigen Möglichkeiten sowohl vom Speicheraufwand als auch von der Rechenleistung her nicht möglich. Dennoch sollen problemspezifische Vereinfachungen helfen, an die EEDF heranzukommen. Hierzu zählen z.B. die Verwendung eines zylindersymmetrischen Plasma-Reaktors, Venachlässigung des Magnetfeldes, Einführung unterschiedlicher Zeit-/Längenskalen oder Anwendung einer geeigneten Transformation. Die somit erhaltene reduzierte DGL stellt in den Zylinderkoordinaten R und z, der Energiekoordinate und der sekularen Zeit t eine DGL für die nur noch 4-Dimensionale Verteilungsfunktion dar. In diesem Poster werden ein numerisches Diskretisierungsverfahren und erste Ergebnisse der reduzierten DGL dargestellt.