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Regensburg 2007 – wissenschaftliches Programm

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DS: Fachverband Dünne Schichten

DS 11: Symposium: New Materials for Nanoelectronics

Dienstag, 27. März 2007, 09:30–13:15, H32

09:30 DS 11.1 Hauptvortrag: Strained silicon for advanced nanotechnology — •Michael Goryll, Dan Buca, Qing-Tai Zhao, Bernd Holländer, Siegfried Mantl, Roger Loo, Duy Nguyen, and Manfred Reiche
10:00 DS 11.2 Hauptvortrag: Integration of functional epitaxial oxides into silicon: From high-K application to nanostructures — •H. Jörg Osten
10:30 DS 11.3 Hauptvortrag: Rare Earth based amorphous ternary oxide layers as alternative gate dielectrics — •Jürgen Schubert, Tassilo Heeg, Martin Roeckerath, Joao Marcelo Jordao Lopes, Uffe Littmark, Chao Zhao, Matty Caymax, Valerie Avanasiev, Lisa Edge, Yunfa Jia, Wei Tian, and Darrell Schlom
11:00 DS 11.4 Hauptvortrag: Advanced SOI CMOS transistors for high performance microprocessors — •Manfred Horstmann
11:30 DS 11.5 Herstellung und Charakterisierung von MOSFETs mit Gadoliniumscandat als alternatives Gatedielektrikum — •Martin Roeckerath, Joachim Knoch, Joao Marcelo Jordao Lopes, Tassilo Heeg, Jürgen Schubert und Siegfried Mantl
11:45 DS 11.6 Hauptvortrag: Graphene: A new Electronic Material — •Max Christian Lemme, Tim Echtermeyer, Matthias Baus, and Heinrich Kurz
12:15 DS 11.7 Hauptvortrag: Electronic Transport in Carbon Nanotube FETs — •Joachim Knoch
12:45 DS 11.8 Strukturierte Schichtsysteme für horizontal gerichtetes Wachstum von Kohlenstoff-Nanoröhren — •Matthias Büenfeld, Bernd Schröter, Frank Schmidl, Matthias Grube, René Geithner, Thomas Pertsch, Detlef Schelle, Wolfgang Richter, Andreas Tünnermann und Paul Seidel
13:00 DS 11.9 Determination of the coefficient of thermal expansion (CTE) of porous dielectric films using x-ray reflectometry — •Sebastian Taube, Holm Geisler, Ulrich Mayer, Inka Zienert, Michael Hecker, and Ehrenfried Zschech
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