Regensburg 2007 – wissenschaftliches Programm
Bereiche | Tage | Auswahl | Suche | Downloads | Hilfe
DS: Fachverband Dünne Schichten
DS 15: Poster Session
DS 15.28: Poster
Dienstag, 27. März 2007, 15:00–17:00, Poster B
Herstellung mittels PLD und Charakterisierung der kristallographischen Eigenschaften von ZnO/YBa2Cu3O7−x-Schichtsystemen — •Robert Pietzcker, Veit Grosse, Gabriel Zieger, Frank Schmidl und Paul Seidel — Institut für Festkörperphysik, Friedrich-Schiller-Universität Jena, Helmholtzweg 5, D-07743 Jena
Zinkoxid (ZnO) ist ein vielseitig einsetzbarer Halbleiter mit großer Bandlücke, dessen Leitfähigkeit durch Veränderung der Sauerstoffkonzentration um mehrere Größenordnungen variiert werden kann.
Im Rahmen der Untersuchung verschiedener Isolatoren für Hochtemperatur-Supraleiter-Dünnschichtsysteme wurden 200-1000 nm dicke ZnO-Schichten mittels PLD epitaktisch auf YBa2Cu3O7−x (YBCO)-Schichten auf SrTiO3 (STO)-Substraten abgeschieden. Der Schichtherstellungsprozess wurde durch Variation des Sauerstoffdrucks (1 - 10 Pa) und der Substrattemperatur (200 - 550∘C) auf Kristallinität und Oberflächenmorphologie optimiert.
Oberflächenanalysen mittels SEM und AFM ergaben glatte Schichten mit Rauhigkeiten um 8 nm. Mittels Röntendiffraktometrie wurde die Kristallinität der Schichtsysteme analysiert und Halbwertsbreiten der Rockingkurven von ZnO zwischen 1∘ und 6∘ ermittelt. Darüber hinaus wurde die Sauerstoffverarmung der YBCO-Schichten bei verschiedenen Abscheideparametern untersucht.