Regensburg 2007 – wissenschaftliches Programm

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VA: Fachverband Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 2: Desorption mechanisms and vacuum generation

VA 2.2: Vortrag

Montag, 26. März 2007, 12:00–12:15, H9

Ein analytisches Modell zur Beschreibung der Kompression von Wide Range Turbo-Molekularpumpen — Klaus Stepputat und •Gerhard Voss — Oerlikon Leybold Vacuum, Köln

Es wird ein analytisches Modell vorgestellt, mit dem die Kompressions-Kurven von Wide Range Turbo-Molekularpumpen berechnet und systematisch analysiert werden können. Das analytische Modell basiert auf der Annahme, dass das in [1] dargestellte Modell sowohl auf die Turbo-Stufe als auch auf die Compound-Stufe der Turbo-Molekularpumpe angewandt werden kann. Vergleicht man die berechneten Kompressions-Kurven mit den experimentellen Daten, so zeigt sich, dass das vorgestellte Modell eine exzellente qualitative und quantitative Beschreibung der beobachteten Phänomene liefert. Da sich Turbo- und Compound-Stufe mit Hilfe des vorgestellten Modells separieren lassen, wird für beide Stufen jeweils die Abhängigkeit des Saugvermögens vom Einlass-Druck und von der Gas-Art diskutiert.

[1] G. Voss in Vakuum in Forschung und Praxis 17 (2005) Nr. 6, S. 324 ff.