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Regensburg 2007 – scientific programme

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VA: Fachverband Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 2: Desorption mechanisms and vacuum generation

Monday, March 26, 2007, 11:15–13:00, H9

11:15 VA 2.1 Invited Talk: Outgassing behaviour, morphology and surface composition of vacuum fired stainless steel — •Manfred Leisch
12:00 VA 2.2 Ein analytisches Modell zur Beschreibung der Kompression von Wide Range Turbo-MolekularpumpenKlaus Stepputat und •Gerhard Voss
12:15 VA 2.3 Trockenverdichtende Schraubenvakuumpumpen in anspruchsvollen Applikationen — •Thomas Dreifert
12:30 VA 2.4 Kalibrierung von Leckraten — •Wolfgang Jitschin
12:45 VA 2.5 Process optimization from component-based Process Control to in-situ Advanced Process Control (APC) — •Benjamin Abraham and Gottfried Gerlach
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