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K: Fachverband Kurzzeitphysik

K 4: VUV - EUV Lichtquellen und deren Anwendungen

K 4.2: Invited Talk

Tuesday, March 11, 2008, 14:30–15:00, 2D

Elektronenstrahlangeregte Ultraviolettlichtquellen — •Andreas Ulrich¹, Andreas Görtler², Thomas Heindl¹, Reiner Krücken¹, Andrei Morozov¹, Christoph Skrobol¹ und Jochen Wieser² — ¹Physik Department E12, TU-München, James Franck Str. 1, 85748 Garching — ²Coherent GmbH, Zielstattstr. 32, 81379 München

Die Anregung dichter Gase mit kontinuierlichen und gepulsten Elektronenstrahlen wird zur Erzeugung von Ultraviolettlicht genutzt. Die Basistechnologie beruht auf der Verwendung sehr dünner Eintrittsfolien, die niedrige Elektronenenergien (typ. 10 keV), kurze Reichweiten der Elektronen im Gas und damit brillante Quellen ermöglichen. Es werden Experimente vorgestellt, die es erlauben, Vakuumultraviolettlichtquellen mit Wellenlängen bis herab zur Absorptionskante von LiF Fenstern bei ca. 105nm zu realisieren. Dabei wird auch die absolute Effizienz der Quellen gemessen. Abbildungsoptiken für die Anwendung der Lichtquellen zur Photionisation von Analytmolekülen in Massenspektrometern werden vorgestellt.

Gefördert durch BMBF 13N8819 und dem MLL.