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P: Fachverband Plasmaphysik

P 6: Niedertemperaturplasmen, Plasmatechnologie I

P 6.8: Vortrag

Dienstag, 11. März 2008, 18:45–19:00, 2G

Nichtlineare Resonanzeffekte auf die Heizung von kapazitiv gekoppelten Zweifrequenzentladungen — •Dennis Ziegler, Thomas Mussenbrock und Ralf Peter Brinkmann — Ruhr-Universität Bochum, Lehrstuhl für Theoretische Elektrotechnik, 44780 Bochum

Ausgangspunkt für die Betrachtung von Heizeffekten in kapazitiv gekoppelten Zweifrequenzentladungen ist ein räumlich aufgelöstes Modell, das die Elektronenbewegungsgleichung an eine nichtlineare Randschichtbeschreibung koppelt. Durch Konzentration auf die räumliche Grundmode wird ein nichtlineares, globales Modell hergeleitet.

Die Analyse des Modells verrät, dass die Dynamik der Entladung durch die Interaktion von Plasmaserienresonanz und nichtlinearer Randschicht bestimmt ist und sich daher als weitaus komplizierter darstellt, als in traditioneller linearer Theorie angenommen wird. Sowohl die niedrige Frequenz als auch die hohe Anregungsfrequenz tragen zur Elektronenheizung und damit zur Generation des Plasmas bei. Eine Analyse der phasenaufgelösten Randschichtspannung, der Bulkspannung und des HF Stromes ermöglicht eine genaue Untersuchung der dissipierten Leistung und damit der Heizung des Plasmas.