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P: Fachverband Plasmaphysik

P IV: Poster: Niedertemperaturplasmen II, Astrophysikalische Plasmen, Magnetischer Einschluss, Plasma-Wand-Wechselwirkung

P IV.25: Poster

Donnerstag, 13. März 2008, 16:00–18:30, Poster C2

Charakterisierung einer RF-Entladung mittels Thermosonde — •Matthias Wolter, Marc Stahl, Moritz Haass, Taalke Ockenga, Christoph Terasa und Holger Kersten — Institut für Experimentelle und Angewandte Physik, Christian-Albrechts-Universität Kiel, Leibnizstraße 11-19, 24098 Kiel

Zur Charakterisierung von Plasmen hinsichtlich Temperatur und Dichte werden vorwiegend Langmuirsonden und Spektroskopie eingesetzt. Für viele Prozesse in Plasmen ist jedoch der Energiebeitrag der einzelenen Spezies, wie Elektronen, Ionen und Neutralteilchen auf die Substratoberfläche ein wichtiger Parameter. Dadurch lassen sich die thermischen Bedingungen an der Substratoberfläche bestimmen, die das Zusammenwirken der Elementarprozesse (Adsorption, Diffusion, chemische Reaktionen) sowie die Mikrostruktur und Stöchiometrie der oberflächennahen Bereiche des Substrates bestimmen.

Es werden systematische Messungen zum Energieeintrag in radialer und axialer Richtung eines HF-Plasmas (PerPlex) für verschiedene Druck- und Leistungsbereiche gezeigt, die typisch für die von uns durchgeführten „dusty Plasma“ Experimente sind.