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Q: Fachverband Quantenoptik und Photonik

Q 53: Poster Photonik

Q 53.3: Poster

Thursday, March 13, 2008, 16:30–19:00, Poster C2

Einfluss von Belichtungsparametern bei schreibender Excimerlaserbelichtung auf die Indexmodifikation von PMMA — •Hauke Höppner, Sebastian Huber, Ortwin Siepmann, Volker Braun, Sabine Tiedeken, Ulrich Teubner und Hans Josef Brückner — FH OOW - Emden, Niedersachsen, Deutschland

Die Absorption von UV-Strahlung führt in PMMA unterhalb von
ca. 260 nm zum Aufbrechen von Molekülbindungen und zur Erhöhung des optischen Brechungsindexes. Es ist zu beobachten, dass sich bei Erhöhung der Leistungsdichte das Absorptionsverhalten und die Form eines lokal erzeugten Indexprofils ändert. Dies ist insbesondere bei der Herstellung optischer Wellenleiter durch schreibende Excimerlaserbelichtung kritisch, da zur Reduzierung der Herstellungszeit mit hohen Leistungsdichten unterhalb der Ablationsschwelle gearbeitet wird. Der Einfluss von Belichtungsparametern wie Gesamtdosis und Leistungsdichte auf die Indexmodifikation und die Führungseigenschaften von optischen Wellenleitern wird dargestellt.