Darmstadt 2008 – wissenschaftliches Programm
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SYOF: Symposium Anwendungen der Plasmatechnik in der Herstellung optischer Funktionsschichten
SYOF 1: Herstellung
SYOF 1.1: Hauptvortrag
Mittwoch, 12. März 2008, 14:00–14:40, 2G
Optische Funktionalisierung durch Plasmatechniken — •Norbert Kaiser — Fraunhofer Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF
Plasmen sind heute unverzichtbares Arbeitsmittel und Stoffwandler zur Herstellung hochwertiger dünner Schichten und der Schlüssel für innovative Oberflächen und neue Produkte. Plasmagestützte Beschichtungs- und Strukturierungsverfahren verdrängen die konventionellen Herstellungsverfahren in vielen Industriebereichen und werden stetig intensiv optimiert. Dabei erstreckt sich das Spektrum der Einsatzbereiche von der Beschichtung und Strukturierung von Glas und Kristallen bis hin zur Strukturierung und Abscheidung multifunktioneller Schichtsysteme auf Kunststoffen.