Darmstadt 2008 – wissenschaftliches Programm

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SYOF: Symposium Anwendungen der Plasmatechnik in der Herstellung optischer Funktionsschichten

SYOF 1: Herstellung

SYOF 1.3: Hauptvortrag

Mittwoch, 12. März 2008, 15:10–15:40, 2G

Neue Entwicklungen der Magnetron-Sputtertechnik für hochwertige optische Beschichtungen — •Michael Vergöhl, Oliver Werner und Stefan Bruns — Bienroder Weg 54E, D-38108 Braunschweig, Deutschland

Das Magnetronsputtern hat in den letzten Jahren für die industrielle Herstellung optischer Schichten erheblich an Bedeutung gewonnen. Während seit Mitte der 90er Jahre die Flachglasbeschichtung auf großen Flächen im Vordergrund der Anwendungen stand, gelangen seit jüngster Zeit auch immer mehr präzisionsoptische Anwendungen in den Fokus der Anwendung. Der Vortrag gibt einen Überblick über die verschiedenen Modifikationen der Sputtertechnik und gibt Beispiele erreichbarer Eigenschaften optischer Schichten. Im Vordergrund stehen dabei auch die jüngsten Entwicklungen auf dem Gebiet der hochionisierten Plasmen zur Herstellung optischer Funktionsschichten sowie der entsprechenden Anlagentechnik. Es werden Beispiele reaktiv und nichtreaktiv gesputterter optischer Schichten (ZrO2, TiO2)und Schichtsysteme vorgestellt und diskutiert.