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SYOF: Symposium Anwendungen der Plasmatechnik in der Herstellung optischer Funktionsschichten
SYOF 1: Herstellung
SYOF 1.4: Invited Talk
Wednesday, March 12, 2008, 15:40–16:00, 2G
Neuartige Prozesskonzepte für das Ionenstrahl-Zerstäuben — •Kai Starke1,2, Henrik Ehlers1, Marc Lappschies1, Nils Beermann1 und Detlev Ristau1 — 1Laser Zentrum Hannover e.V., Hannover — 2Cutting Edge Coatings GmbH, Hannover
Das Ionenstrahl-Zerstäuben (IBS) ist seit Langem als das Verfahren bekannt, welches zur Abscheidung optischer Funktionsschichten mit höchsten Qualitätsmerkmalen in der Lage ist. Für spezielle Fragestellungen in der Grundlagenforschung und für kommerzielle Anwendungen werden mit dem IBS-Prozess komplexe Schichtsysteme mit extremen spektralen Übertragungsfunktionen, geringsten Absorption- und Streuverlusten und hoher Stabilität hergestellt. Mit der Einführung der breitbandigen optischen Schichtdickenmessung ist in den letzten Jahren ein enormer Fortschritt bei der Fertigungspräzision erreicht worden. Ohne Zuhilfenahme von langwierigen Einfahrprozeduren sind moderne IBS-Anlagen nunmehr in der Lage, auch anspruchsvolle Schichtdesigns wie Dünnschichtpolarisatoren, Multiband-Filter und Chirped Mirrors sicher zu realisieren. Eine weitere Prozessinnovation stellt die Adaption des IBS-Prozesses für die Herstellung von oxidischen Mischschichten dar. Hierbei können durch eine kontrollierte Kodeposition beliebige Mischungsverhältnisse eingestellt werden. Die Erzeugung von Meta-Materialien mit definierter Dispersion eröffnen neue Möglichkeiten für optische Designs mit hohem technologischen Potenzial (z. B. Rugate-Filter). Beispielsweise konnten für Beschichtungen mit TixSi1-xO2 erhebliche Steigungen der Laserfestigkeit für ns-NIR-Laserpulse und eine höhere Temperaturstabilität beobachtet werden.