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Darmstadt 2008 – wissenschaftliches Programm

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UP: Fachverband Umweltphysik

UP 10: Neuartige Verfahren in der Umweltphysik

UP 10.3: Vortrag

Donnerstag, 13. März 2008, 09:30–09:45, 3B

Zersörungsfreie und berührungslose Speziation von Nanopartikeln auf Halbleiteroberfächen durch TXRF-NEXAFS — •Falk Reinhardt1,2, Burkhard Beckhoff1, Harald Bresch3, Birgit Kanngießer2, Matthias Müller1, Beatrix Pollakowski1, Stefan Seeger3 und Gerhard Ulm11Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Abbestr. 2-12, 10587 Berlin — 2Technische Universität Berlin, Sekr. EW 3-2, Hardenbergstr. 36, 10623 Berlin — 3Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung, Unter den Eichen 87, IV.24, 12205 Berlin

Die Methode der Totalreflexions-Röntgenfluoreszenz (TXRF) kann bei Anregung mit monochromatisierter Synchrotronstrahlung mit Nachweisgrenzen im Femtogrammbereich effektiv zur quantitativen Analyse von auf Oberflächen deponierten Partikeln beitragen. In Verbindung mit der Untersuchung der Absorptionskantenfeinstruktur (TXRF-NEXAFS), welche durch die Durchstimmbarkeit der Synchrotronstrahlung ermöglicht wird, kann darüber hinaus eine chemische Speziation der Partikelbestandteile vorgenommen werden.

Mit einem Kaskadenimpaktor wurden verschiedene Titanoxide mit Partikeldurchmessern bis unter 60 nm größenfraktioniert auf Siliziumwafern deponiert. Damit konnte sowohl die Größenabhängigkeit des Fluoreszenzsignals untersucht, als auch die Zuverlässigkeit von TXRF-NEXAFS bei der chemischen Speziation aufgezeigt werden.

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