Dresden 2009 – wissenschaftliches Programm

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HL: Fachverband Halbleiterphysik

HL 9: Poster 1

HL 9.47: Poster

Montag, 23. März 2009, 14:30–17:00, P2

Ortsaufgelöste Photostromuntersuchungen an Zinkoxid Schottky-Kontakten — •Zhipeng Zhang, Christian Czekalla, Matthias Schmidt, Alexander Lajn, Holger Hochmuth, Holger von Wenckstern und Marius Grundmann — Universität Leipzig, Fakultät für Physik und Geowissenschaften, Institut für Experimentelle Physik II, Linnéstr. 5, 04103, Leipzig, Germany

Wir präsentieren ortsaufgelöste Light Beam Induced Current (LBIC)-Untersuchungen an gesputterten Schottky-Kontakten auf heteroepitaktischen Zinkoxid (ZnO)-Dünnschichten. Für die LBIC-Messungen wurde ein HeCd-Laser (325 nm) verwendet. Als Kontaktmaterialien wurden Silber (Ag), Gold (Au), Palladium (Pd) und Platin (Pt) verwendet, welche sowohl in Argon- (nicht reaktiv) als auch in Sauerstoffatomosphäre (reaktiv) auf die Probenoberfläche gesputtert wurden. Die LBIC-Scans der reaktiv gesputterten Kontakte zeigten eine deutlich höhere laterale Homogenität als die der nicht reaktiv gesputterten. Durch Aufbringen einer zusätzlichen nicht reaktiv gesputterten Deckschicht (capping) konnte die Homogenität weiter erhöht werden. Weiterhin wurden an Pd-Schottky-Kontakten verschiedene Kombinationen aus Kontaktmetall- und Capping-Schichtdicken, abgeschieden unter verschiedenen Sputterbedingungen, untersucht. Die Kontakte wurden mittels Strom-Spannungs- sowie Kapazitäts-Spannungsmessungen bezüglich ihrer elektrischen Eigenschaften charakterisiert.