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P: Fachverband Plasmaphysik

P 15: Poster: Diagnostik

P 15.11: Poster

Mittwoch, 1. April 2009, 17:30–19:30, Foyer des IfP

Anregungsdynamik von mikrostrukturierten Atosphärendruck-Plasma-Arrays — •Henrik Boettner, Volker Schulz - von der Gathen und Jörg Winter — Institut für Experimentalphysik II, Ruhr-Universität Bochum, 44780 Bochum, Germany

Mikrostrukturierte Atmosphärendruck-Plasma-Arrays bieten eine Vielzahl von Anwendungsmöglichkeiten, z.B. als UV-Quelle, optoelekronisches Bauelement oder Radikalenquelle. Aufgrund des begrenzten fundamentalen Verständnisses dieser Entladungen sind zur Anwendungsoptimierung eingehende Untersuchungen nötig.

Hier werden phasen-, orts- und spektral aufgelöste optische emissionsspektroskopische Messungen an mikrostrukturierten Atmosphärendruck-Plasma-Arrays [1] mit typischen Dimensionen von 50x50 µm2 je Pixel und 50x50 Pixel je Array vorgestellt. Insbesondere werden Energietransport- und Zündungsmechanismen sowie Spezieskonzentrationen und -dynamik untersucht. Betrieben werden die Entladungen in Helium, Argon und Neon sowie verschiedenen Mischungsverhältnissen derselben bei Anregungsfunktionen im mittleren kHz-Bereich und Spannungen von einigen 100 Vpp. Speziell der Einfluss der Anregungsfunktion und -frequenz auf den Auslastungsgrad der Entladung wird aufgezeigt.

Reference
[1] J. Phys. D: Appl. Phys. 38 (2005) 1644-1648

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