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Hannover 2010 – wissenschaftliches Programm

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 1: Plasmatechnology

Montag, 8. März 2010, 14:00–16:25, B 302

14:00 P 1.1 Fachvortrag: Simulation des Plamajet-Hochratenätzens von massivem Quarzglas — •Johannes Meister und Thomas Arnold
14:25 P 1.2 Optimierung von Barriereschichten mittels Substratbias — •Evelyn Häberle, Jochen Kopecki, Andreas Schulz, Matthias Walker, Ulrich Stroth, Andreas Mutzke und Ralf Schneider
14:40 P 1.3 Lokale Abscheidung von Siliziumoxidschichten mittels atmosphärischen Plasmajets — •Manuela Janietz und Thomas Arnold
14:55 P 1.4 Construction and Characterization of Micro Plasma Jet for Thin Film Deposition on Capillary. — •Ramasamy Pothiraja, Nikita Bibinov, Philipp Mertmann, and Peter Awakowicz
15:10 P 1.5 Ätzmechanismen bei der Bearbeitung von SiC mittels atmosphärischer Plasmajets — •Inga-Maria Eichentopf und Thomas Arnold
15:25 P 1.6 Filamentary and homogeneous DBD modes for human skin treatment:Discharge characterization and simulation of surface irradiation — •Priyadarshini Rajasekaran, Philipp Mertmann, Nikita Bibinov, Dirk Wandke, Wolfgang Vioel, and Peter Awakowicz
15:40 P 1.7 Untersuchungen zur Aufladung und Abscheidung von polydispersen Aerosolen durch Barrierenentladungen — •Abdelali Bougoutaya, Siegfried Müller und Tila Krüger
15:55 P 1.8 Beladung und Plasmaregeneration von mineralischen Gasadsorbern — •Tila Krüger, Siegfried Müller und Abdelali Bougoutaya
16:10 P 1.9 Removal of volatile organic compound using a multi stage packed bed reactor under atmospheric conditions — •Marko Hübner, Olivier Guaitella, Antoine Rousseau, and Jürgen Röpcke
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