Hannover 2010 – wissenschaftliches Programm

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 18: Poster: Diagnostics

P 18.18: Poster

Donnerstag, 11. März 2010, 16:00–18:00, Lichthof

Diagnostik an partikelbildenden Plasmen — •Patrick Sadler^1,2, Morten Hundt², Matthias Wolter², Andre Melzer¹ und Holger Kersten² — ¹Ernst-Moritz-Arndt-Universität, Greifswald — ²Christian-Albrechts-Universität, Kiel

Reaktive Plasmen enthalten chemisch reaktive Spezies, die ein wichtiges Werkzeug für technologische Anwendungen darstellen, sogenannte Plasmaprozesse. In Prozessplasmen kann es durch komplexe plasmachemische Vorgänge zur Bildung von Partikeln kommen, die einen Durchmesser von bis zu einigen Mikrometern aufweisen.

Die Charakteristika dieser Partikelbildung werden mit verschiedenen Diagnostiken in acetylen- und methanhaltigen Hochfrequenzplasmen untersucht. Dabei kommen Laserabsorptionsspektroskopie (QCLAS) zur Bestimmung der absoluten Methan- und Acetylenkonzentrationen sowie Elektronenresonanzspektroskopie (SEERS) zur Messung der freien Elektronendichte und der Elektronenstoßrate im Plasma zum Einsatz. In Ergänzung dazu werden Messungen der DC-Self-Bias sowie optische Lasertransmissionsmessungen direkt mit dem Partikelwachstum in Verbindung gebracht. Durch die Kombination der verschiedenen Diagnostikverfahren kann die Wirkung der Partikelbildung auf die Plasmaparameter bestimmt und ein Einblick in die ablaufende Plasmachemie gewonnen werden.