Hannover 2010 – wissenschaftliches Programm

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 19: Poster: Low Temperature Plasmas II

P 19.5: Poster

Donnerstag, 11. März 2010, 16:00–18:00, Lichthof

Numerische Simulation eines RF-Mikroplasma-Jets bei Atmosphärendruck — •Torben Hemke, Alexander Wollny, Markus Gebhardt, Ralf Peter Brinkmann und Thomas Mussenbrock — Theoretische Elektrotechnik, Ruhr-Universität Bochum

In den letzten Jahren wurde eine wachsende Anzahl an Mikroplasma-Quellen entwickelt. Diese unterscheiden sich in der zugrunde liegenden Anwendung, wodurch es eine Vielzahl an Geometrien, verwendeter Chemie und sowohl DC, als auch RF-Entladungen gibt.
Dieser Beitrag fokussiert sich auf die Simulation eines Hochfrequenz-getriebenen Mikroplasma-Jets, dem sogenannten µ-APPJ. Der Jet, bestehend aus koplanaren Elektroden mit dem Abstand 1 mm, wird typischerweise bei einer Frequenz von 13.56 MHz (bei in etwa 10 W) betrieben. Das typische Gasgemisch besteht aus 1 slm Helium und einer geringen Beimischung von molekularem Sauerstoff.
Anhand der Simulation soll ein prinzipielles physikalisches Verständnis der Entladung erarbeitet werden. Weiterhin werden die Ergebnisse der Simulation mit den experimentell gewonnenen Daten verglichen.
Diese Arbeit wird von der DFG im Rahmen der Forschergruppe FOR1123 unterstützt.