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MI: Fachverband Mikrosonden

MI 2: Electron Backscattering and Kossel X-Ray Diffraction

MI 2.9: Talk

Monday, March 14, 2011, 12:45–13:15, BEY 81

Neue Ansätze zur verbesserten EBSD-Analytik — •Gert Nolze — Bruker Nano, Berlin, Deutschland

Mittlerweile sind moderne EBSD-Systeme in der Lage 900 EBSD patterns/s zu akquirieren und zu indizieren. Mit paralleler EDX-Spektren-Auswertung sind immer noch 740 Messpunkte/s realisierbar. Dank höherer Auflösung der Beugungsbilder lässt sich die Orientierungsgenauigkeit auf deutlich unter ein halbes Grad drücken, wobei die Messgeschwindigkeit mit 600 patterns/s nicht wesentlich geringer ausfällt.

Ausgefeilte Indizierungsstrategien erlauben zudem wiederholte Analysen (Re-Indexing) einer EBSD-Messung mit einer Geschwindigkeit von bis zu 50.000 Orientierungen/s. Die nachträgliche Implementation einer unerwarteten und somit während der Messung nicht berücksichtigten Phase ist somit lediglich eine Frage von wenigen Sekunden.

Zur gezielten Vorauswahl zu untersuchender Probenbereiche sind allerdings weitaus schnellere Hilfsmittel gefragt. Hierfür eignen sich insbesondere TV-fähige Mehrfachdetektor-Systeme, die durch getrennte Signalbearbeitung eine orientierungskodierte Farbdarstellung der REM-üblichen Graustufenbilder ermöglichen.

Gänzlich veränderte Ansätze zur Intensitätsbeschreibung der Beugungsbilder verbessern zudem die Zuverlässigkeit der Indizierung komplizierterer Phasen, ermöglichen aber auch erst eine seriöse Verifikation unbekannter Phasen oder können als Referenzbilder zur Spannungsanalyse eingesetzt werden.