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MI: Fachverband Mikrosonden

MI 5: X-Ray Spectrometry and Tomography

MI 5.2: Vortrag

Dienstag, 15. März 2011, 10:15–10:30, BEY 81

Feinfokussierte Strahlen von hochgeladenen Ionen (HCI-FIB) — •Mike Schmidt¹, Günter Zschornack², Vladimir Petrovich Ovsyannikov¹ und Jaques Gierak³ — ¹DREEBIT GmbH, Dresden, Deutschland — ²TU Dresden, Dresden, Deutschland — ³LPN/CNRS, Marcoussis, Frankreich

Die DRESDEN EBIS/T Plattformtechnologie umfasst kompakte bei Raumtemperatur betriebene Elektronenstrahlionenquellen/-fallen (engl.: Electron Beam Ion Sources/Traps, EBIS/T) aber auch eine neue flüssighelium-freie supraleitende EBIS. Diese Quellen eignen sich für zahlreiche Anwendungsfelder. In diesem Beitrag geben wir einen Überblick über aktuelle Aktivitäten zur Erzeugung feinfokussierter Strahlen hochgeladener Ionen. Wir stellen eine FIB-Lösung für Sub-Mikrometer Strahlen von Edelgasionen und zahlreichen anderen Spezies hochgeladener Ionen vor. Ein entsprechender Prototypenaufbau wurde entwickelt und in Betrieb genommen. Der Aufbau besteht aus einer modifizierten Dresden EBIS, einer FIB-Säule und einer Targetkammer zur Modifikation und Untersuchung verschiedener Proben. Die Targetkammer ist mit einem Probentransfersystem, einem Probenhalter, einem Probenpositioniertisch und einem Sekundärelektronenvervielfacher (SEV) bzw. einem Laufzeitsekundärionenspektrometer (TOF-SIMS) zur Oberflächenanalyse bzw. zur Elementenanalyse ausgestattet. Erste Experimente wurden durchgeführt und werden präsentiert. Diese Arbeit wird unterstützt vom EFRE Fund der EU und dem Freistaat Sachsen (Projects 12321/2000 and 12184/2000).