Stuttgart 2012 – wissenschaftliches Programm

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 13: Poster: Niedertemperaturplasmsen

P 13.23: Poster

Dienstag, 13. März 2012, 16:30–19:00, Poster.III

Particle-In-Cell Simulation magnetisierter Hochfrequenzplasmen — •Jan Trieschmann, Sara Gallian, Denis Eremin, Ralf Peter Brinkmann und Thomas Mussenbrock — Lehrstuhl für Theoretische Elektrotechnik, Ruhr-Universität Bochum, 44780 Bochum

Kapazitive Hochfrequenzplasmen spielen im Zusammenhang mit Plasmaätzen, Deposition und Oberflächenmodifikation im Allgemeinen eine wichtige Rolle. Die Plasmen, die häufig als Mehrfrequenzplasmen ausgelegt sind, werden typischerweise bei Gasdrücken im Pascal- und sogar im Sub-Pascal-Bereich betrieben. Um trotz der sehr niedrigen Gasdrücke hohe Plasmadichten zu gewährleisten, werden statische Magnetfelder eingesetzt. Diese haben implizit auch Einfluss auf die Ionenenergieverteilungsfunktionen (IEDFs) und die Möglichkeiten ihrer Einstellung. Auf der Basis von selbstkonsistenten kinetischen Simulationen beschäftigt sich der Beitrag mit der Frage, inwieweit es möglich ist, die IEDF bei magnetisch unterstützten Hochfrequenzplasmen einzustellen und bestimmten Anforderungen anzupassen.

Diese Arbeit wird im Rahmen des SFB-TR 87 durch die Deutsche Forschungsgemeinschaft gefördert.