Stuttgart 2012 – wissenschaftliches Programm

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 13: Poster: Niedertemperaturplasmsen

P 13.29: Poster

Dienstag, 13. März 2012, 16:30–19:00, Poster.III

Ein räumlich aufgelöstes Modell für die Plasmaserienresonanzen in Niederdruckplasmen — •Schabnam Naggary, Thomas Mussenbrock und Ralf Peter Brinkmann — Lehrstuhl für theoretische Elektrotechnik, Ruhr-Universität Bochum

HF-Ströme weisen eine komplizierte Elektronendynamik auf, welche als Plasmaserienresonanz bezeichnet wird. Diese wird selbste erregte hervorgerufen durch die Zusammenschaltung aus einem nicht-linearen Plasmarandschichtmodell und einem linearen Plasmabulkmodell. Bei asymmetrischen kapazitiv gekoppelten RF-Entladungen tritt dieser Effekt verstärkt auf. Durch die räumliche Ausdehnung des Plasmas hat der HF-Strom eine komplexe multimoden Struktur. Diese führt zu einer hohen Anzahl von Plasmaserienresonanzen. Um die Beeinflussung der Energieeinkopplung in das Plasma durch die selbsterregte Plasmaserienresonanz zu verstehen, ist eine Analyse des HF-Stromes notwendig. Zur möglichst genauen Rekonstruktion des HF-Stromes wird in diesem Beitrag ein Multimodenmodell für das Plasmabulk entwickelt, welches mit zahlreichen Mikrorandschichtmodellen in Reihe zusammengeschaltet ist. Der rekonstruierte HF-Strom für einen kugelsymmetrischen Plasmareaktor und eine homogene Dichteverteilung der Elektronen weist mit steigender Modenzahl eine deutlich komplexere Struktur auf. Die berechneten Ergebnisse werden mit gemessenen Daten verglichen.