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P: Fachverband Plasmaphysik

P 10: Poster: Plasmadiagnostik

P 10.9: Poster

Wednesday, February 27, 2013, 16:30–18:30, Poster EG

Die Geschichte kalorimetrischer Sonden — Sven Bornholdt, Maik Fröhlich und •Holger Kersten — Institut für Experimentelle und Angewandte Physik, CAU Kiel

Der Zusammenhang zwischen Energieeintrag aus dem Plasma und den daraus resultierenden Oberflächeneigenschaften bei der Plasma-Wand-Wechselwirkung ist ein wichtiges Forschungsgebiet, welches besonders für anwendungsnahe Entwicklung von großem Interesse ist. Durch die Entwicklung dieses Forschungsbereichs entwickelten sich auch verschiedene diagnostische Zugänge, die meist die Messung des Energieeintrags auf das Substrat durch die damit verbundene Temperaturänderung der behandelten Oberfläche zu Grunde legen.

In diesem Beitrag werden die populärsten kalorimetrischen Sonden für die Plasmaprozesstechnik, deren grundlegende Prinzipien und verschiedene Weiterentwicklungen bzw. Optimierungen vor- und gegenüber gestellt.

Die Vielseitigkeit und Flexibilität kalorimetrischer Sonden spiegelt sich in einer Vielzahl von wissenschaftlichen Veröffentlichungen wider, die nicht nur das Gebiet der Niedertemperaturplasmen abdecken, sondern auch fusionsrelevante Aspekte der Plasmatechnologie beinhalten.

Die neuesten Entwicklungen zeigen einen Trend zur Kombination mit anderen diagnostischen Methoden, die die Einsatzgebiete weiter ausbauen und ein noch umfassenderes Bild von der Plasma-Wand-Wechselwirkung liefern.