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P: Fachverband Plasmaphysik

P 10: Dusty Plasmas II

P 10.6: Talk

Tuesday, March 18, 2014, 15:40–15:55, SPA HS201

Untersuchung und Nutzung von Nanopartikeln bei Schichtabscheidungsprozessen — •Torben Schlebrowski, Hendrik Bahre, Marc Böke und Jörg Winter — Ruhruniversität Bochum, Lehrstuhl für Experimentalphysik II

Im Rahmen von Schichtabscheidungen mit reaktiven Plasmen, wie zum Beispiel bei der Barrierebeschichtung von Kunststofffolien, kann es zur Bildung von Nanopartikeln kommen. Diese können sowohl die Plasmaparameter beeinflussen als auch in die abgeschiedenen Schichten eingebaut werden, um deren Eigenschaften (z.B. innerer Stress) gezielt zu modifizieren. Ziel unserer Untersuchungen ist der Einbau dieser Partikel in Barriereschichten und ein Vergleich dieser mit Schichten ohne Partikel. Die Untersuchungen wurden mit einem mobilen 3D Scanning System durchgeführt, welches für ein schnelles Abscannen großvolumiger Entladungen bei hoher Sensitivität (Partikel ab <=20nm Größe) entwickelt wurde. Die eingesetzte Prozesskammer wurde hinsichtlich der Partikelbildung qualifiziert (Existenzbereiche) und Wachstumsraten der Partikel bestimmt. Zudem wurden erste Untersuchungen an Silizium- und PET-Substraten durchgeführt, um den in den abgeschiedenen Schichten vorhandenen, starken Stress zu reduzieren. Dieses Projekt wird im Rahmen des SFB-TR87 von der DFG gefördert.