Bochum 2015 – wissenschaftliches Programm

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 24: Theory and Modelling III

P 24.1: Fachvortrag

Donnerstag, 5. März 2015, 10:30–10:55, HZO 50

Modellierung von dielektrisch behinderten Atmosphärendruckentladungen in Argon und Ar-HMDSO-Gasgemischen — •Markus M. Becker und Detlef Loffhagen — INP Greifswald, Felix-Hausdorff-Str. 2, D-17498 Greifswald

Dielektrisch behinderte Atmosphärendruckentladungen werden zunehmend zur Behandlung von Oberflächen eingesetzt. Hier ist Argon ein häufig genutztes Trägergas, das z. B. zum Aufbringen siliziumhaltiger Schichten mit Hexamethyldisiloxan (HMDSO) als Präkursorgas gemischt wird. Zur Optimierung derartiger technologischer Anwendungen wurde ein zeitabhängiges, räumlich eindimensionales Fluid-Modell entwickelt, das eine gegenüber herkömmlichen Modellen verbesserte Beschreibung des Teilchen- und Energietransports der Elektronen beinhaltet. In dem Beitrag wird das raumzeitliche Verhalten unterschiedlicher Entladungsanordnungen diskutiert. Für eine einseitig behinderte Einzelfilamententladung in reinem Argon wird gezeigt, dass mit steigender Spannungsamplitude der Einfluss metastabiler Argonatome auf das Entladungsverhalten zunimmt. Insbesondere die Chemoionisation spielt bei Spannungsamplituden >2 kV eine entscheidende Rolle. Weiterhin wird für eine symmetrische Entladungsanordnung der Einfluss geringer Beimischungen von HMDSO auf das Entladungsverhalten untersucht. Hier zeigt sich, dass die Penning-Ionisation in Stößen von HMDSO-Molekülen mit metastabilen Argonatomen eine bedeutende Rolle einnimmt.

Die Arbeiten wurden durch die DFG im Rahmen des SFB-TRR 24 sowie unter dem Geschäftszeichen LO 623/3-1 unterstützt.