Bochum 2015 – wissenschaftliches Programm

Bereiche | Tage | Auswahl | Suche | Aktualisierungen | Downloads | Hilfe

P: Fachverband Plasmaphysik

P 27: Diagnostics II

P 27.3: Vortrag

Donnerstag, 5. März 2015, 14:45–15:00, HZO 30

Robustheit der in-situ Größenbestimmung von a:C-H Nanostaub mittels Mie-Ellipsometrie — •Sebastian Groth, Franko Greiner und Alexander Piel — IEAP, Christian-Albrechts-Universität, Kiel, Germany

Das Wachstum von Nanopartikeln und die Dynamik von Nanostaubwolken in einem Argon-Acetylen Plasma werden mit kinetischer Mie-Ellipsometrie in-situ untersucht. Dabei werden mittels entsprechender Ellipsometer-Aufbauten die ellipsometrischen Winkel Ψ und Δ bestimmt und aus diesen mit Hilfe der Mie-Theorie der Größenparameter x(t) sowie der komplexe Brechungsindex N der Partikel. Die Bestimmung von x(t) aus Ψ(t) und Δ(t) erfolgt in der Regel mittels gausscher Fehlerminimierung. Dabei muss neben dem Einfluss der Signal-Rausch-Verhältnisses zusätzlich die Fehleranfälligkeit der Radiusbestimmung im Bezug auf den Brechungsindex betrachtet werden. Es werden ellipsometrische Messungen von Partikelwachstum im Bereich 100-200 nm in einem Argon-Acetylen-Plasma in einer Hochfrequenz-Parallelplatten-Entladung präsentiert und die Stabilität und Qualität der verwendeten Datenanalyse, bezogen auf die oben genannten Aspekte, untersucht. Die ermittelten Wachstumskurven werden mit ex-situ SEM-Messungen überprüft.

Gefördert durch die Deutsche Forschungsgemeinschaft im SFB-TR24, Projekt A2.