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P: Fachverband Plasmaphysik
P 4: Plasma Technology I
P 4.2: Fachvortrag
Montag, 2. März 2015, 14:30–14:55, HZO 30
Untersuchungen an einem kommerziellen Atmosphärendruck-Plasmajet — •Thorben Kewitz1, Maik Fröhlich1, 2, Johannes von Frieling1 und Holger Kersten1 — 1Institut für Experimentelle und Angewandte Physik der CAU zu Kiel, Deutschland — 2Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie e.V, Greifswald, Deutschland
Ein kommerzieller Atmosphärendruck-Plasmajet (Plamatreat GmbH) wurde mittels kalorimetrischer und optischen Diagnostiken untersucht. Der Plasmajet wird in verschiedenen Anwendungsgebieten unter anderem zur Reinigung, Aktivierung und Beschichtung von Oberflächen eingesetzt. Insbesondere bei der Behandlung von temperatursensiblen Materialien und bei der Beschichtung ist der Energieeintrag vom Plasmajet auf das Material ein wichtiger Parameter für die Kontrolle und Optimierung des Prozesses. Mit der für diesen Plasmajet angepassten kalorimetrischen Sonde wurde daher der Energieeintrag in Abhängigkeit von den Prozessparametern (Spannung, Gasfluss, Abstand, Frequenz) ermittelt.
Da mit einem solchen Plasmajet auch multifunktionelle a-C:H Schichten abgeschieden werden, wurde exemplarisch Acetylen, welches ein Zwischenprodukt von verschiedenen Präkursoren ist, als Präkursor verwendet. Die Konzentration des Acetylens wurde im Effluenten des Plasmajets mit einem Quantenkaskadenlaser experimentell bestimmt. Dabei kann der Verbrauch des Ausgangsmaterials durch Fragmentierung und folgender Deposition bzw. Partikelbildung über die Absorptionsintensität verfolgt werden.