Bochum 2015 – scientific programme

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 4: Plasma Technology I

P 4.3: Talk

Monday, March 2, 2015, 14:55–15:10, HZO 30

Flexible Barriereschichten durch Multilagen a-C:H Schichten — •Markus Brochhagen, Hendrik Bahre, Jan Benedikt, Marc Böke und Jörg Winter — Experimentalphysik II, Ruhr-Universität Bochum, 44801 Bochum

Barriereschichten auf Kunststoffen sind besonders in der Verpackungsindustrie von hohem Interesse. Um eine lange Reinheit des eingepackten Materials zu erhalten, ist eine gute Gasbarriere nötig, welche bei gängigen Kunstoffen wie PET nicht vorhanden ist. Zugleich müssen entsprechende Schichten dehnbar und flexibel sein. Weit verbreitete Siliziumoxidschichten haben eine gute Gasbarriere, sind jedoch hart und brüchig. Verschiedene ein- und zweilagige amorphe, wasserstoffhaltige Kohlenstoffschichten wurden in einem induktiv gekoppelten Plasma abgeschieden und auf ihre Eigenschaften durch uniaxiale insitu Zugversuche und Sauerstofftransmissionsmessungen (OTR) untersucht. Als Versuchsgas wurde Acetylen mit und ohne Argon-Beimischungen bei Drücken von 3 Pa verwendet. Bei niedrigen Leistungen von 100 W konnten Schichten mit hohen Dehnungstoleranzen abgeschieden werden. Diese können hierbei einen polymerartigen Charakter besitzen, zeigten sich bei den OTR-Messungen jedoch als sehr durchlässig. Mit höheren Leistungen können diamantartige Schichten erzeugt werden. Bei diesen Schichten konnte zwar eine hohe Gas-Barriere festgestellt werden, ihre Flexibilität ist aber gering. Mit der Kombination dieser Schichttypen wird versucht, eine Schicht mit hoher Gasbarriere und hoher Flexibilität zu erzeugen.
Gefördert durch DFG (SFB-TR 87, TP B2)